Metodo per la stabilizzazione in temperatura della frequenza di risonanza di risonatori micromeccanici in semiconduttore

L'invenzione fornisce un metodo per la fabbricazione di risonatori micromeccanici in silicio stabili in temperatura e quindi integrabili con i dispositivi elettronici di consumo.

Settore:

Energia,
Industry 4.0

Ente di Ricerca:

Università di Pisa

Numero di pubblicazione:

ITUB20160061A1

Tecnologie, Sistemi, Applicazioni:

Sviluppo e caratterizzazione materiali avanzati,
Tecnologie di processo e di prodotto e attività di design evoluto,
Tecnologie, reti e sistemi e comunicazione, wireless e wired

Priorità Tecnologica:

Soluzioni fotoniche, micro e nanoelettroniche