Metodo per la stabilizzazione in temperatura della frequenza di risonanza di risonatori micromeccanici in semiconduttore

L'invenzione fornisce un metodo per la fabbricazione di risonatori micromeccanici in silicio stabili in temperatura e quindi integrabili con i dispositivi elettronici di consumo.

Settore:

Industry 4.0,
Energia

Ente di Ricerca:

Università di Pisa

Numero di pubblicazione:

ITUB20160061A1

Tecnologie, Sistemi, Applicazioni:

Tecnologie di processo e di prodotto e attività di design evoluto,
Tecnologie, reti e sistemi e comunicazione, wireless e wired,
Sviluppo e caratterizzazione materiali avanzati

Priorità Tecnologica:

Soluzioni fotoniche, micro e nanoelettroniche
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